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离子风机微电子工业的应用

    离子风机微电子工业的应用
    离子风机是依靠输入的机械能,提高气体压力并排送气体的机械,它是一种从动的流体机械。风机分类可以按气体流动的方向,分为离心式、轴流式、斜流式和横流式等类型。风机根据气流进入叶轮后的流动方向分为:轴流式风机、离心式风机和斜流(混流)式风机。风机按用途分为压入式局部风机(以下简称压入式风机)和隔爆电动机置于流道外或在流道内,隔爆电动机置于防爆密封腔的抽出式局部风机你所说的都是离心风机。
    离子风机可产生大量的带有正负电荷的气流,中和掉物体上所带的电荷。当物体表面所带电荷为负电荷时,它会吸收气流中的正电荷,当物体表面所带电荷为正电荷时,它会吸收气流中的负电荷,从而使物体表面上的静电被中和,达到消除静电的目的。
    离子风机在微电子工业生产中有着广泛的应用,用于大规模、超大规模集成电路洁净车间,避免人体在车间内移动产生静电。计算机、通信及电子设备制造业:用于电子设备生产车间地面、程控电话交换 机房、移动通信机房、广播电视发射中心、电力控制调度中心、交通运输调度中 心、电脑机房、微波通讯站机房等,控制静电放电对计算机通信、各类电子设备及对静电敏感器件危害,防止计算机内存及电子仪器内部的损坏。

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